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    Titel:

    Microstructure and electrical characterization based on AFM of very high-doped polysilicon grains

    Beteiligte:

    Coq Germanicus, R. (Autor:in) / Picard, E. (Autor:in) / Domenges, B. (Autor:in) / Danilo, K. (Autor:in) / Rogel, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 6006-6012

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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