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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Properties of ultrathin platinum deposited by atomic layer deposition for nanoscale copper-metallization schemes

    Beteiligte:

    Zhu, Y. (Autor:in) / Dunn, K. A. (Autor:in) / Kaloyeros, A. E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 22 ; 1292-1298

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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