Formation and characterization of Si5C3 type silicon carbide by carbon ion implantation with a MEVVA ion source: Fid-Bau Portal

Formation and characterization of Si5C3 type silicon carbide by carbon ion implantation with a MEVVA ion source

Guo, L. B. / Wang, Y. L. / Song, F. / He, F. / Huang, Y. / Yan, L. H. / Wan, Y. Z.

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Titel:

Formation and characterization of Si5C3 type silicon carbide by carbon ion implantation with a MEVVA ion source

Beteiligte:

Guo, L. B. (Autor:in) / Wang, Y. L. (Autor:in) / Song, F. (Autor:in) / He, F. (Autor:in) / Huang, Y. (Autor:in) / Yan, L. H. (Autor:in) / Wan, Y. Z. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 61 ; 4083-4085

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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