Formation and Characterization of 3C-SIC by Carbon-Ion Implantation into Silicon with a MEVVA Ion Source: Fid-Bau Portal

Formation and Characterization of 3C-SIC by Carbon-Ion Implantation into Silicon with a MEVVA Ion Source

Wan, Y.Z. / Xiong, G.Y. / Song, F. / Luo, H.L. / Huang, Y. / He, F. / Guo, L.B. / Wang, Y.L.

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Titel:

Formation and Characterization of 3C-SIC by Carbon-Ion Implantation into Silicon with a MEVVA Ion Source

Beteiligte:

Wan, Y.Z. (Autor:in) / Xiong, G.Y. (Autor:in) / Song, F. (Autor:in) / Luo, H.L. (Autor:in) / Huang, Y. (Autor:in) / He, F. (Autor:in) / Guo, L.B. (Autor:in) / Wang, Y.L. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE REVIEW AND LETTERS ; 14 ; 1103-1106

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0218-625X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 530.417

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