Comparison of Graphite and BN/AIN Annealing Caps for Ion Implanted SiC: Fid-Bau Portal

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Comparison of Graphite and BN/AIN Annealing Caps for Ion Implanted SiC

Jones, K. A. / Wood, M. C. / Zheleva, T. S. / Kirchner, K. W. / Derenge, M. A. / Bolonikov, A. / Sudarshan, T. S. / Vispute, R. D. / Hullavarad, S. S. / Dhar, S.

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Jones, K. A. / Wood, M. C. / Zheleva, T. S. / Kirchner, K. W. / Derenge, M. A. / Bolonikov, A. / Sudarshan, T. S. / Vispute, R. D. / Hullavarad, S. S. / Dhar, S.

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Titel:

Comparison of Graphite and BN/AIN Annealing Caps for Ion Implanted SiC

Beteiligte:

Jones, K. A. (Autor:in) / Wood, M. C. (Autor:in) / Zheleva, T. S. (Autor:in) / Kirchner, K. W. (Autor:in) / Derenge, M. A. (Autor:in) / Bolonikov, A. (Autor:in) / Sudarshan, T. S. (Autor:in) / Vispute, R. D. (Autor:in) / Hullavarad, S. S. (Autor:in) / Dhar, S. (Autor:in)

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2006 ; 575-578

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 556/557

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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