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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Fabrication of pn-Junction Diode for N^+ Implanted 4H-SiC(0001) Annealed by EBAS

    Beteiligte:

    Egami, A. (Autor:in) / Shibagaki, M. (Autor:in) / Kumagai, A. (Autor:in) / Numajiri, K. (Autor:in) / Miyagawa, S. (Autor:in) / Kudo, T. (Autor:in) / Uchiumi, S. (Autor:in) / Satoh, M. (Autor:in) / Wright, N. / Johnson, C. M.

    Erschienen in:

    Silicon Carbide and Related Materials 2006 ; 929-932

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 556/557

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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