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    Titel:

    Study of Diamond Like Carbon Deposition Using Capacitively Coupled RF-PECVD

    Beteiligte:

    Ali, N. (Autor:in) / Ahmed, W. (Autor:in) / Fan, Q. (Autor:in) / Rego, C. (Autor:in) / Taylor, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -SOFIA- ; 7 ; 14-23

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1999

    Format / Umfang:

    10 pages

    ISSN:

    0861-9786

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.112

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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