Chemical Etching Behavior of Single-crystal Silicon Slice: Fid-Bau Portal

Chemical Etching Behavior of Single-crystal Silicon Slice

Wen, J.-b. / Fan, L.-m. / Zhao, S.-l. / Zhu, Y.-m.

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Titel:

Chemical Etching Behavior of Single-crystal Silicon Slice

Beteiligte:

Wen, J.-b. (Autor:in) / Fan, L.-m. (Autor:in) / Zhao, S.-l. (Autor:in) / Zhu, Y.-m. (Autor:in)

Erschienen in:

CORROSION SCIENCE AND PROTECTION TECHNOLOGY ; 19 ; 269-271

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1002-6495

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11223

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