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    Titel:

    Measurement and characterization of a nano-scale multiple-step height sample using a stylus profiler

    Beteiligte:

    Li, C. (Autor:in) / Yang, S. (Autor:in) / Wang, Y. (Autor:in) / Wang, C. (Autor:in) / Ren, W. (Autor:in) / Jiang, Z. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 387 ; 732-735

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2016

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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