Characteristics of silicon substrates fabricated using nanogrinding and chemo-mechanical-grinding: Fid-Bau Portal

Characteristics of silicon substrates fabricated using nanogrinding and chemo-mechanical-grinding

Huang, H. / Wang, B. L. / Wang, Y. / Zou, J. / Zhou, L.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Characteristics of silicon substrates fabricated using nanogrinding and chemo-mechanical-grinding

Huang, H. / Wang, B. L. / Wang, Y. / Zou, J. / Zhou, L.

Characteristics of silicon substrates fabricated using nanogrinding and chemo-mechanical-grinding

Huang, H. / Wang, B. L. / Wang, Y. / Zou, J. / Zhou, L.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Characteristics of silicon substrates fabricated using nanogrinding and chemo-mechanical-grinding

Beteiligte:

Huang, H. (Autor:in) / Wang, B. L. (Autor:in) / Wang, Y. (Autor:in) / Zou, J. (Autor:in) / Zhou, L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A ; 479 ; 373-379

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Huang, H. / Wu, Y.Q. / Wang, Y. et al. | British Library Online Contents | 2009

Surface integrity and removal mechanism of silicon wafers in chemo-mechanical grinding using a newly developed soft abrasive grinding wheel

Gao, Shang / Huang, Han / Zhu, Xianglong et al. | British Library Online Contents | 2017

Nanogrinding induced surface and deformation mechanism of single crystal β-Ga2O3

Gao, Shang / Wu, Yueqin / Kang, Renke et al. | British Library Online Contents | 2018

Material Removal Mechanism of Chemo-Mechanical Grinding (CMG) of Si Wafer by Using Soft Abrasive Grinding Wheel (SAGW)

Guo, D.M. / Tian, Y.B. / Kang, R.K. et al. | British Library Online Contents | 2009

Multi Objective Optimization of Multi Wall Carbon Nanotube Based Nanogrinding Wheel Using Grey Relational and Regression Analysis

Sethuramalingam, Prabhu / Vinayagam, Babu Kupusamy | Online Contents | 2016

Nach oben