Characterization of Ti-Zr-N films deposited by cathodic vacuum arc with different substrate bias: Fid-Bau Portal

Characterization of Ti-Zr-N films deposited by cathodic vacuum arc with different substrate bias

Niu, E. W. / Li, L. / Lv, G. H. / Chen, H. / Li, X. Z. / Yang, X. Z. / Yang, S. Z.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Characterization of Ti-Zr-N films deposited by cathodic vacuum arc with different substrate bias

Niu, E. W. / Li, L. / Lv, G. H. / Chen, H. / Li, X. Z. / Yang, X. Z. / Yang, S. Z.

Characterization of Ti-Zr-N films deposited by cathodic vacuum arc with different substrate bias

Niu, E. W. / Li, L. / Lv, G. H. / Chen, H. / Li, X. Z. / Yang, X. Z. / Yang, S. Z.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Characterization of Ti-Zr-N films deposited by cathodic vacuum arc with different substrate bias

Beteiligte:

Niu, E. W. (Autor:in) / Li, L. (Autor:in) / Lv, G. H. (Autor:in) / Chen, H. (Autor:in) / Li, X. Z. (Autor:in) / Yang, X. Z. (Autor:in) / Yang, S. Z. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 3909-3914

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Niu, E. W. / Li, L. / Lv, G. H. et al. | British Library Online Contents | 2007

Influence of pulsed substrate bias on the structure and properties of Ti-Al-N films deposited by cathodic vacuum arc

Zhang, G. P. / Gao, G. J. / Wang, X. Q. et al. | British Library Online Contents | 2012

Characterization of Zr-Si-N films deposited by cathodic vacuum arc with different N2/SiH4 flow rates

Zhang, G. P. / Niu, E. W. / Wang, X. Q. et al. | British Library Online Contents | 2012

Low-temperature deposited ZnO thin films on the flexible substrate by cathodic vacuum arc technology

Yang, R. Y. / Weng, M. H. / Pan, C. T. et al. | British Library Online Contents | 2011

Nanoindentation evaluation of cathodic vacuum arc deposited ZnO film on PET substrate

Huang, Chien-Wei / Weng, Min-Hang / Pan, Cheng-Tang et al. | British Library Online Contents | 2016

Nach oben