Atomic layer deposition of Cr2O3 thin films: Effect of crystallization on growth and properties: Fid-Bau Portal

Atomic layer deposition of Cr2O3 thin films: Effect of crystallization on growth and properties

Tarre, A. / Aarik, J. / Mandar, H. / Niilisk, A. / Parna, R. / Rammula, R. / Uustare, T. / Rosental, A. / Sammelselg, V.

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Titel:

Atomic layer deposition of Cr2O3 thin films: Effect of crystallization on growth and properties

Beteiligte:

Tarre, A. (Autor:in) / Aarik, J. (Autor:in) / Mandar, H. (Autor:in) / Niilisk, A. (Autor:in) / Parna, R. (Autor:in) / Rammula, R. (Autor:in) / Uustare, T. (Autor:in) / Rosental, A. (Autor:in) / Sammelselg, V. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 5149-5156

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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