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    Titel:

    Passivation of GaAs surface by atomic-layer-deposited titanium nitride

    Beteiligte:

    Bosund, M. (Autor:in) / Aierken, A. (Autor:in) / Tiilikainen, J. (Autor:in) / Hakkarainen, T. (Autor:in) / Lipsanen, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 5385-5389

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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