Erratum to ''GaAs surface passivation by plasma-enhanced atomic-layer-deposited aluminum nitride'' [Appl. Surf. Sci. 256 (2010) 7434-7437]: Fid-Bau Portal

Erratum to ''GaAs surface passivation by plasma-enhanced atomic-layer-deposited aluminum nitride'' [Appl. Surf. Sci. 256 (2010) 7434-7437]

Bosund, M. / Mattila, P. / Aierken, A. / Hakkarainen, T. / Koskenvaara, H. / Sopanen, M. / Airaksinen, V. M. / Lipsanen, H.

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Titel:

Erratum to ''GaAs surface passivation by plasma-enhanced atomic-layer-deposited aluminum nitride'' [Appl. Surf. Sci. 256 (2010) 7434-7437]

Beteiligte:

Bosund, M. (Autor:in) / Mattila, P. (Autor:in) / Aierken, A. (Autor:in) / Hakkarainen, T. (Autor:in) / Koskenvaara, H. (Autor:in) / Sopanen, M. (Autor:in) / Airaksinen, V. M. (Autor:in) / Lipsanen, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 2412

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

2412 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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