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    Titel:

    Copper diffusion in TaN-based thin layers

    Beteiligte:

    Nazon, J. (Autor:in) / Fraisse, B. (Autor:in) / Sarradin, J. (Autor:in) / Fries, S. G. (Autor:in) / Tedenac, J. C. (Autor:in) / Frety, N. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 5670-5674

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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