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    Titel:

    Microstructure, porosity and roughness of RF sputtered oxide thin films: Characterization and modelization

    Beteiligte:

    Oudrhiri-Hassani, F. (Autor:in) / Presmanes, L. (Autor:in) / Barnabe, A. (Autor:in) / Tailhades, P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 5796-5802

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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