An extreme change in structural and optical properties of indium oxynitride deposited by reactive gas-timing RF magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

An extreme change in structural and optical properties of indium oxynitride deposited by reactive gas-timing RF magnetron sputtering

Sungthong, A. / Porntheeraphat, S. / Poyai, A. / Nukeaw, J.

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Titel:

An extreme change in structural and optical properties of indium oxynitride deposited by reactive gas-timing RF magnetron sputtering

Beteiligte:

Sungthong, A. (Autor:in) / Porntheeraphat, S. (Autor:in) / Poyai, A. (Autor:in) / Nukeaw, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 7950-7954

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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