Roughness development in the depth profiling with 500eV O2+ beam with the combination of oxygen flooding and sample rotation: Fid-Bau Portal

Roughness development in the depth profiling with 500eV O2+ beam with the combination of oxygen flooding and sample rotation

Gui, D. / Xing, Z. X. / Huang, Y. H. / Mo, Z. Q. / Hua, Y. N. / Zhao, S. P. / Cha, L. Z.

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Titel:

Roughness development in the depth profiling with 500eV O2+ beam with the combination of oxygen flooding and sample rotation

Beteiligte:

Gui, D. (Autor:in) / Xing, Z. X. (Autor:in) / Huang, Y. H. (Autor:in) / Mo, Z. Q. (Autor:in) / Hua, Y. N. (Autor:in) / Zhao, S. P. (Autor:in) / Cha, L. Z. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 1433-1436

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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