The impact of nitrogen co-implantation on boron ultra-shallow junction formation and underlying physical understanding: Fid-Bau Portal

The impact of nitrogen co-implantation on boron ultra-shallow junction formation and underlying physical understanding

Yeong, S. H. / Colombeau, B. / Mok, K. R. / Benistant, F. / Liu, C. J. / Wee, A. T. / Dong, G. / Chan, L. / Srinivasan, M. P.

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The impact of nitrogen co-implantation on boron ultra-shallow junction formation and underlying physical understanding

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The impact of nitrogen co-implantation on boron ultra-shallow junction formation and underlying physical understanding

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Titel:

The impact of nitrogen co-implantation on boron ultra-shallow junction formation and underlying physical understanding

Beteiligte:

Yeong, S. H. (Autor:in) / Colombeau, B. (Autor:in) / Mok, K. R. (Autor:in) / Benistant, F. (Autor:in) / Liu, C. J. (Autor:in) / Wee, A. T. (Autor:in) / Dong, G. (Autor:in) / Chan, L. (Autor:in) / Srinivasan, M. P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 154-155 ; 43-48

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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