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    Titel:

    Diffusion of phosphorus implanted in germanium

    Beteiligte:

    Canneaux, T. (Autor:in) / Mathiot, D. (Autor:in) / Ponpon, J. P. (Autor:in) / Roques, S. (Autor:in) / Schmitt, S. (Autor:in) / Dubois, C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 154-155 ; 68-71

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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