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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Diffusion and activation of phosphorus in germanium

    Beteiligte:

    Tsouroutas, P. (Autor:in) / Tsoukalas, D. (Autor:in) / Zergioti, I. (Autor:in) / Cherkashin, N. (Autor:in) / Claverie, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 11 ; 372-377

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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