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Titel:

Variable Shaped Beam lithography

Erschienen in:

MATERIALS TODAY -OXFORD THEN KIDLINGTON- ; 12 ; 40

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

40 pages

ISSN:

1369-7021

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11299

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