PECVD in-situ growth of silicon quantum dots in silicon nitride from silane and nitrogen: Fid-Bau Portal

PECVD in-situ growth of silicon quantum dots in silicon nitride from silane and nitrogen

Mercaldo, L. V. / Veneri, P. D. / Esposito, E. / Massera, E. / Usatii, I. / Privato, C.

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Titel:

PECVD in-situ growth of silicon quantum dots in silicon nitride from silane and nitrogen

Beteiligte:

Mercaldo, L. V. (Autor:in) / Veneri, P. D. (Autor:in) / Esposito, E. (Autor:in) / Massera, E. (Autor:in) / Usatii, I. (Autor:in) / Privato, C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 159-160 ; 77-79

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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