Growth of Thick 4H-SiC Epitaxial Layers on On-Axis Si-Face Substrates with HCl Addition: Fid-Bau Portal

Growth of Thick 4H-SiC Epitaxial Layers on On-Axis Si-Face Substrates with HCl Addition

Leone, S. / Pedersen, H. / Henry, A. / Rao, S.P. / Kordina, O. / Janzen, E.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Growth of Thick 4H-SiC Epitaxial Layers on On-Axis Si-Face Substrates with HCl Addition

Leone, S. / Pedersen, H. / Henry, A. / Rao, S.P. / Kordina, O. / Janzen, E.

Growth of Thick 4H-SiC Epitaxial Layers on On-Axis Si-Face Substrates with HCl Addition

Leone, S. / Pedersen, H. / Henry, A. / Rao, S.P. / Kordina, O. / Janzen, E.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Growth of Thick 4H-SiC Epitaxial Layers on On-Axis Si-Face Substrates with HCl Addition

Beteiligte:

Leone, S. (Autor:in) / Pedersen, H. (Autor:in) / Henry, A. (Autor:in) / Rao, S.P. (Autor:in) / Kordina, O. (Autor:in) / Janzen, E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 615/617 ; 93-96

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

La Via, F. / Izzo, G. / Camarda, M. et al. | British Library Online Contents | 2009

Progress in Growth of Thick Epitaxial Layers on 4 Degree Off-Axis 4H SiC Substrates

Zhang, J. / Chung, G. / Sanchez, E.K. et al. | British Library Online Contents | 2012

Growth of 4H-SiC Epitaxial Layers on 4^o Off-Axis Si-Face Substrates

Henry, A. / Leone, S. / Pedersen, H. et al. | British Library Online Contents | 2009

4H-SiC Epitaxial Layers Grown on On-Axis Si-Face Substrate

Hassan, J. / Bergman, J. P. / Henry, A. et al. | British Library Online Contents | 2007

Growth and Study of Thick 3C-SiC Epitaxial Layers Produced by Epitaxy on 6H-SiC Substrates

Lebedev, A. A. / Zelenin, V. V. / Abramov, P. L. et al. | British Library Online Contents | 2007

Nach oben