Residual Stress Measurement on Hetero-Epitaxial 3C-SiC Films: Fid-Bau Portal

Residual Stress Measurement on Hetero-Epitaxial 3C-SiC Films

Anzalone, R. / Locke, C. / Severino, A. / Rodilosso, D. / Tringali, C. / Foti, G. / Saddow, S.E. / La Via, F. / D Arrigo, G.

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Titel:

Residual Stress Measurement on Hetero-Epitaxial 3C-SiC Films

Beteiligte:

Anzalone, R. (Autor:in) / Locke, C. (Autor:in) / Severino, A. (Autor:in) / Rodilosso, D. (Autor:in) / Tringali, C. (Autor:in) / Foti, G. (Autor:in) / Saddow, S.E. (Autor:in) / La Via, F. (Autor:in) / D Arrigo, G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 615/617 ; 629-632

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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