Stress Evaluation on Hetero-Epitaxial 3C-SiC Films on (100) Si Substrates: Fid-Bau Portal

Stress Evaluation on Hetero-Epitaxial 3C-SiC Films on (100) Si Substrates

Anzalone, R. / Camarda, M. / Locke, C. / Carballo, J. / Piluso, N. / D Arrigo, G. / Severino, A. / Volinsky, A.A. / Saddow, S.E. / La Via, F.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Stress Evaluation on Hetero-Epitaxial 3C-SiC Films on (100) Si Substrates

Anzalone, R. / Camarda, M. / Locke, C. / Carballo, J. / Piluso, N. / D Arrigo, G. / Severino, A. / Volinsky, A.A. / Saddow, S.E. / La Via, F.

Stress Evaluation on Hetero-Epitaxial 3C-SiC Films on (100) Si Substrates

Anzalone, R. / Camarda, M. / Locke, C. / Carballo, J. / Piluso, N. / D Arrigo, G. / Severino, A. / Volinsky, A.A. / Saddow, S.E. / La Via, F.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Stress Evaluation on Hetero-Epitaxial 3C-SiC Films on (100) Si Substrates

Beteiligte:

Anzalone, R. (Autor:in) / Camarda, M. (Autor:in) / Locke, C. (Autor:in) / Carballo, J. (Autor:in) / Piluso, N. (Autor:in) / D Arrigo, G. (Autor:in) / Severino, A. (Autor:in) / Volinsky, A.A. (Autor:in) / Saddow, S.E. (Autor:in) / La Via, F. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 717/720 ; 521-524

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Anzalone, R. / Locke, C. / Severino, A. et al. | British Library Online Contents | 2009

Hetero-Epitaxial Growth of 3C-SiC on Carbonized Silicon Substrates

Shimizu, H. / Hisada, K. | British Library Online Contents | 2003

Key Radicals for Hetero-Epitaxial Growth of 3C-SiC on Silicon Substrates

Shimizu, H. / Hisada, K. / Aoyama, Y. | British Library Online Contents | 2005

Hetero-Epitaxial Growth of 3C-SiC on Silicon Substrates by Plasma Assisted CVD

Shimizu, H. / Aoyama, Y. | British Library Online Contents | 2006

Raman Stress Characterization of Hetero-Epitaxial 3C-SiC Free Standing Structures

Piluso, N. / Camarda, M. / Anzalone, R. et al. | British Library Online Contents | 2011

Nach oben