Photoresist Templates for Wafer Scale Defect Free Evaporative Lithography: Fid-Bau Portal

Photoresist Templates for Wafer Scale Defect Free Evaporative Lithography

Tang, X. / O Shea, S. J. / Vakarelski, I. U.

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Titel:

Photoresist Templates for Wafer Scale Defect Free Evaporative Lithography

Beteiligte:

Tang, X. (Autor:in) / O Shea, S. J. (Autor:in) / Vakarelski, I. U. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 22 ; 5150-5153

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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