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Initial growth of intrinsic microcrystalline silicon thin film: Dependence on pre-hydrogen glow discharge and substrate surface morphology

Zhang, X. / Zheng, X. / Wang, G. / Zhao, Y.

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Titel:

Initial growth of intrinsic microcrystalline silicon thin film: Dependence on pre-hydrogen glow discharge and substrate surface morphology

Beteiligte:

Zhang, X. (Autor:in) / Zheng, X. (Autor:in) / Wang, G. (Autor:in) / Zhao, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 3014-3019

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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