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Silicon Waveguide Sidewall Smoothing by Resist Reflowing

Cai, J. / Lim, P.H. / Ishikawa, Y. / Wada, K.

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Titel:

Silicon Waveguide Sidewall Smoothing by Resist Reflowing

Beteiligte:

Cai, J. (Autor:in) / Lim, P.H. (Autor:in) / Ishikawa, Y. (Autor:in) / Wada, K. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF NONLINEAR OPTICAL PHYSICS AND MATERIALS ; 19 ; 801-810

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0218-8635

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 540

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