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    Titel:

    Molecular dynamics study on the effects of stamp shape, adhesive energy, and temperature on the nanoimprint lithography process

    Beteiligte:

    Kang, J. H. (Autor:in) / Kim, K. S. (Autor:in) / Kim, K. W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 1562-1572

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    11 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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