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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Advanced Stress Analysis by Micro-Structures Realization on High Quality Hetero-Epitaxial 3C-SiC for MEMS Application

    Beteiligte:

    Anzalone, R. (Autor:in) / Camarda, M. (Autor:in) / D Arrigo, G. (Autor:in) / Locke, C. (Autor:in) / Canino, A. (Autor:in) / Piluso, N. (Autor:in) / Severino, A. (Autor:in) / La Magna, A. (Autor:in) / Saddow, S.E. (Autor:in) / La Via, F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Silicon Carbide and Related Materials 2010 ; 133-136

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 679/680

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2011

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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