The uniformity of Al distribution in aluminum-doped zinc oxide films grown by atomic layer deposition: Fid-Bau Portal

The uniformity of Al distribution in aluminum-doped zinc oxide films grown by atomic layer deposition

Luka, G. / Wachnicki, L. / Witkowski, B. S. / Krajewski, T. A. / Jakiela, R. / Guziewicz, E. / Godlewski, M.

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Titel:

The uniformity of Al distribution in aluminum-doped zinc oxide films grown by atomic layer deposition

Beteiligte:

Luka, G. (Autor:in) / Wachnicki, L. (Autor:in) / Witkowski, B. S. (Autor:in) / Krajewski, T. A. (Autor:in) / Jakiela, R. (Autor:in) / Guziewicz, E. (Autor:in) / Godlewski, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 176 ; 237-241

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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