Effect of Annealing on Formation and Microstructure of ZnTiO~3 Thin Films by DC Reactive Magnetron Co-Sputtering: Fid-Bau Portal

Effect of Annealing on Formation and Microstructure of ZnTiO~3 Thin Films by DC Reactive Magnetron Co-Sputtering

Huang, Y.L. / Lee, Y.C. / Tsai, D.C. / Shieu, F.S.

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Titel:

Effect of Annealing on Formation and Microstructure of ZnTiO~3 Thin Films by DC Reactive Magnetron Co-Sputtering

Beteiligte:

Huang, Y.L. (Autor:in) / Lee, Y.C. (Autor:in) / Tsai, D.C. (Autor:in) / Shieu, F.S. (Autor:in) / Li, C. / Jiang, C. / Zhong, Z. / Zhou, Y.

Erschienen in:

Functional and Electronic Materials ; 610-616

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 687

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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