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Study on Lubricating Behavior in Chemical Mechanical Polishing

Su, J.X. / Du, J.X. / Liu, X.L. / Liu, H.N. / Kang, R.K.

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Titel:

Study on Lubricating Behavior in Chemical Mechanical Polishing

Beteiligte:

Su, J.X. (Autor:in) / Du, J.X. (Autor:in) / Liu, X.L. (Autor:in) / Liu, H.N. (Autor:in) / Kang, R.K. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 487 ; 243-247

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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