Generation of cavities in silicon wafers by laser ablation using silicon nitride as sacrificial layer: Fid-Bau Portal

Generation of cavities in silicon wafers by laser ablation using silicon nitride as sacrificial layer

Lerner, B. / Perez, M. S. / Toro, C. / Lasorsa, C. / Rinaldi, C. A. / Boselli, A. / Lamagna, A.

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Titel:

Generation of cavities in silicon wafers by laser ablation using silicon nitride as sacrificial layer

Beteiligte:

Lerner, B. (Autor:in) / Perez, M. S. (Autor:in) / Toro, C. (Autor:in) / Lasorsa, C. (Autor:in) / Rinaldi, C. A. (Autor:in) / Boselli, A. (Autor:in) / Lamagna, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 258 ; 2914-2919

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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