Single Photolithography/Implantation 120-Zone Junction Termination Extension for High-Voltage SiC Devices: Fid-Bau Portal

Single Photolithography/Implantation 120-Zone Junction Termination Extension for High-Voltage SiC Devices

Snook, M. / McNutt, T. / Kirby, C. / Hearne, H. / Veliadis, V. / Nechay, B. / Woodruff, S. / Howell, R.S. / White, J. / Davis, S.

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Snook, M. / McNutt, T. / Kirby, C. / Hearne, H. / Veliadis, V. / Nechay, B. / Woodruff, S. / Howell, R.S. / White, J. / Davis, S.

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Titel:

Single Photolithography/Implantation 120-Zone Junction Termination Extension for High-Voltage SiC Devices

Beteiligte:

Snook, M. (Autor:in) / McNutt, T. (Autor:in) / Kirby, C. (Autor:in) / Hearne, H. (Autor:in) / Veliadis, V. (Autor:in) / Nechay, B. (Autor:in) / Woodruff, S. (Autor:in) / Howell, R.S. (Autor:in) / White, J. (Autor:in) / Davis, S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 717/720 ; 977-980

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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