Laser-induced front side etching of fused silica with XeF excimer laser using thin metal layers: Fid-Bau Portal

Laser-induced front side etching of fused silica with XeF excimer laser using thin metal layers

Lorenz, P. / Ehrhardt, M. / Wehrmann, A. / Zimmer, K.

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Titel:

Laser-induced front side etching of fused silica with XeF excimer laser using thin metal layers

Beteiligte:

Lorenz, P. (Autor:in) / Ehrhardt, M. (Autor:in) / Wehrmann, A. (Autor:in) / Zimmer, K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 258 ; 9138-9142

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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