Surface Observation of 4H-SiC (0001) Planarized by Catalyst-Referred Etching: Fid-Bau Portal

Surface Observation of 4H-SiC (0001) Planarized by Catalyst-Referred Etching

Sadakuni, S. / Pho, B.V. / Dai, N.X. / Sano, Y. / Yagi, K. / Murata, J. / Okamoto, T. / Tachibana, K. / Yamauchi, K.

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Titel:

Surface Observation of 4H-SiC (0001) Planarized by Catalyst-Referred Etching

Beteiligte:

Sadakuni, S. (Autor:in) / Pho, B.V. (Autor:in) / Dai, N.X. (Autor:in) / Sano, Y. (Autor:in) / Yagi, K. (Autor:in) / Murata, J. (Autor:in) / Okamoto, T. (Autor:in) / Tachibana, K. (Autor:in) / Yamauchi, K. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 516 ; 452-456

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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