Study of Terminated Species on 4H-SiC (0001) Surfaces Planarized by Catalyst-Referred Etching: Fid-Bau Portal

Study of Terminated Species on 4H-SiC (0001) Surfaces Planarized by Catalyst-Referred Etching

Bui, P.V. / Sadakuni, S. / Okamoto, T. / Arima, K. / Sano, Y. / Yamauchi, K.

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Titel:

Study of Terminated Species on 4H-SiC (0001) Surfaces Planarized by Catalyst-Referred Etching

Beteiligte:

Bui, P.V. (Autor:in) / Sadakuni, S. (Autor:in) / Okamoto, T. (Autor:in) / Arima, K. (Autor:in) / Sano, Y. (Autor:in) / Yamauchi, K. (Autor:in) / Lebedev, A.A. / Davydov, S.Y. / Ivanov, P.A. / Levinshtein, M.E.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2012 Selected, peer reviewed papers from the 9th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ECSCRM 2012), September 2-6, 2012, St. Petersburg, Russian Federation ; 510-513

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 740/742

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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