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Eutectic and solid-state wafer bonding of silicon with gold

Abouie, M. / Liu, Q. / Ivey, D. G.

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Titel:

Eutectic and solid-state wafer bonding of silicon with gold

Beteiligte:

Abouie, M. (Autor:in) / Liu, Q. (Autor:in) / Ivey, D. G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 177 ; 1748-1758

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

11 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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