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    Titel:

    Compliant electrostatic chuck based on hairy microstructure

    Beteiligte:

    Saito, S. (Autor:in) / Soda, F. (Autor:in) / Dhelika, R. (Autor:in) / Takahashi, K. (Autor:in) / Takarada, W. (Autor:in) / Kikutani, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Focus issue: Bioinspired smart materials and systems ; 015019

    SMART MATERIALS AND STRUCTURES ; 22

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    15019 pages

    ISSN:

    0964-1726

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  530

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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