Study of High-Temperature MEMS Pressure Sensor Based on SiC-AlN Structure: Fid-Bau Portal

Study of High-Temperature MEMS Pressure Sensor Based on SiC-AlN Structure

Lv, H.J. / Geng, T. / Hu, G.Q.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Study of High-Temperature MEMS Pressure Sensor Based on SiC-AlN Structure

Lv, H.J. / Geng, T. / Hu, G.Q.

Study of High-Temperature MEMS Pressure Sensor Based on SiC-AlN Structure

Lv, H.J. / Geng, T. / Hu, G.Q.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Study of High-Temperature MEMS Pressure Sensor Based on SiC-AlN Structure

Beteiligte:

Lv, H.J. (Autor:in) / Geng, T. (Autor:in) / Hu, G.Q. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIV ; 471-476

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 562/565

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Hou, Z.H. / Huang, Z. / Jia, S.X. | British Library Online Contents | 2014

A High Pressure Sensor with Circular Diaphragm Based on MEMS Technology

Zhao, L.B. / Fang, X.D. / Zhao, Y.L. et al. | British Library Online Contents | 2011

An Integrated Sensor for Pressure, Temperature, and Relative Humidity Based on MEMS Technology

Won, J. / Choa, S.-H. / Yulong, Z. | British Library Online Contents | 2006

A Tire Pressure Monitoring System Based on MEMS Sensor

Zhang, J. / Zhang, Z.H. / Chen, T. et al. | British Library Online Contents | 2011

A SOI-MEMS Piezoresistive Atmosphere Pressure Sensor

Du, L.D. / Zhao, Z. / Xiao, L. et al. | British Library Online Contents | 2013

Nach oben