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Study on MEMS Capacitive Differential Pressure Sensor

Hou, Z.H. / Huang, Z. / Jia, S.X.

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Titel:

Study on MEMS Capacitive Differential Pressure Sensor

Beteiligte:

Hou, Z.H. (Autor:in) / Huang, Z. (Autor:in) / Jia, S.X. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

MICRO-NANO TECHNOLOGY XV ; 968-971

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 609/610

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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