Enhanced tunability of the composition in silicon oxynitride thin films by the reactive gas pulsing process: Fid-Bau Portal

Enhanced tunability of the composition in silicon oxynitride thin films by the reactive gas pulsing process

Aubry, E. / Weber, S. / Billard, A. / Martin, N.

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Titel:

Enhanced tunability of the composition in silicon oxynitride thin films by the reactive gas pulsing process

Beteiligte:

Aubry, E. (Autor:in) / Weber, S. (Autor:in) / Billard, A. (Autor:in) / Martin, N. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 290 ; 148-153

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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