Silicon oxynitride thin films synthesised by the reactive gas pulsing process using rectangular pulses: Fid-Bau Portal

Silicon oxynitride thin films synthesised by the reactive gas pulsing process using rectangular pulses

Aubry, E. / Weber, S. / Billard, A. / Martin, N.

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Titel:

Silicon oxynitride thin films synthesised by the reactive gas pulsing process using rectangular pulses

Beteiligte:

Aubry, E. (Autor:in) / Weber, S. (Autor:in) / Billard, A. (Autor:in) / Martin, N. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 10065-10071

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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