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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Hydrogen Effects in ECR-Etching of 3C-SiC(100) Mesa Structures

    Beteiligte:

    Hiller, L. (Autor:in) / Stauden, T. (Autor:in) / Kemper, R.M. (Autor:in) / Lindner, J.K.N. (Autor:in) / As, D.J. (Autor:in) / Pezoldt, J. (Autor:in) / Okumura, H. / Harima, H. / Kimoto, T. / Yoshimoto, M.

    Erschienen in:

    Silicon Carbide and Related Materials 2013 ; 730-733

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 778/780

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2014

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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