Ultra-thin 3D Nano-Devices from Atomic Layer Deposition on Polyimide: Fid-Bau Portal

Ultra-thin 3D Nano-Devices from Atomic Layer Deposition on Polyimide

Eigenfeld, N. T. / Gray, J. M. / Brown, J. J. / Skidmore, G. D. / George, S. M. / Bright, V. M.

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Titel:

Ultra-thin 3D Nano-Devices from Atomic Layer Deposition on Polyimide

Beteiligte:

Eigenfeld, N. T. (Autor:in) / Gray, J. M. (Autor:in) / Brown, J. J. (Autor:in) / Skidmore, G. D. (Autor:in) / George, S. M. (Autor:in) / Bright, V. M. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 26 ; 3962-3967

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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