Atomic/molecular layer deposition of hybrid inorganic–organic thin films from erbium guanidinate precursor: Fid-Bau Portal

Atomic/molecular layer deposition of hybrid inorganic–organic thin films from erbium guanidinate precursor

Mai, L. / Giedraityte, Z. / Schmidt, M. / Rogalla, D. / Scholz, S. / Wieck, A. D. / Devi, A. / Karppinen, M.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Atomic/molecular layer deposition of hybrid inorganic–organic thin films from erbium guanidinate precursor

Mai, L. / Giedraityte, Z. / Schmidt, M. / Rogalla, D. / Scholz, S. / Wieck, A. D. / Devi, A. / Karppinen, M.

Atomic/molecular layer deposition of hybrid inorganic–organic thin films from erbium guanidinate precursor

Mai, L. / Giedraityte, Z. / Schmidt, M. / Rogalla, D. / Scholz, S. / Wieck, A. D. / Devi, A. / Karppinen, M.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Atomic/molecular layer deposition of hybrid inorganic–organic thin films from erbium guanidinate precursor

Beteiligte:

Mai, L. (Autor:in) / Giedraityte, Z. (Autor:in) / Schmidt, M. (Autor:in) / Rogalla, D. (Autor:in) / Scholz, S. (Autor:in) / Wieck, A. D. (Autor:in) / Devi, A. (Autor:in) / Karppinen, M. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 52 ; 6216-6224

Erscheinungsdatum:

01.01.2017

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Choi, M. J. / Cho, C. J. / Kim, K. C. et al. | British Library Online Contents | 2014

Atomic layer deposition and characterization of stoichiometric erbium oxide thin dielectrics on Si(100) using (CpMe)3Er precursor and ozone

Xu, R. / Tao, Q. / Yang, Y. et al. | British Library Online Contents | 2012

Perovskite Thin Films via Atomic Layer Deposition

Sutherland, B. R. / Hoogland, S. / Adachi, M. M. et al. | British Library Online Contents | 2015

Atomic layer deposition of PbZrO3 thin films

Harjuoja, J. / Vayrynen, S. / Putkonen, M. et al. | British Library Online Contents | 2007

SrCoO3-d thin films by atomic layer deposition

Ahvenniemi, E. / Matvejeff, M. / Karppinen, M. | British Library Online Contents | 2014

Nach oben