Effects of non-spherical colloidal silica slurry on Al-NiP hard disk substrate CMP application: Fid-Bau Portal

Effects of non-spherical colloidal silica slurry on Al-NiP hard disk substrate CMP application

Salleh, S. / Sudin, I. / Awang, A.

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Titel:

Effects of non-spherical colloidal silica slurry on Al-NiP hard disk substrate CMP application

Beteiligte:

Salleh, S. (Autor:in) / Sudin, I. (Autor:in) / Awang, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 360 ; 59-68

Erscheinungsdatum:

01.01.2016

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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