Electrical and structural properties of surfaces and interfaces in Ti/Al/Ni Ohmic contacts to p-type implanted 4H-SiC: Fid-Bau Portal

Electrical and structural properties of surfaces and interfaces in Ti/Al/Ni Ohmic contacts to p-type implanted 4H-SiC

Vivona, M. / Greco, G. / Bongiorno, C. / Lo Nigro, R. / Scalese, S. / Roccaforte, F.

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Titel:

Electrical and structural properties of surfaces and interfaces in Ti/Al/Ni Ohmic contacts to p-type implanted 4H-SiC

Beteiligte:

Vivona, M. (Autor:in) / Greco, G. (Autor:in) / Bongiorno, C. (Autor:in) / Lo Nigro, R. (Autor:in) / Scalese, S. (Autor:in) / Roccaforte, F. (Autor:in)

Erschienen in:

Applied surface science ; 420 ; 331-335

Erscheinungsdatum:

01.01.2017

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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